美标:316LWV或者316L2V
日标:SUS316LVV或者SUS316L2V
统称:316LVIM+VAR或者316L双V超纯净不锈钢
标准:PXCLGF-032 SEMI-F20-0706E
归类超纯不锈钢
说明316LVIM/VAR是一种通过真空熔炼(VIM) +真空电弧重熔(VAR)工艺生产的不锈钢材料。这种材料具有高强度、高疲劳强度、出色的微清洁度和优异的结构均匀性,适用于半导体设备,外科植入物和其他需要高清洁度和高光洁度的应用
应用领域:
洁净室配件、超高压压力传感器、半导体腔体、零部件、医疗产业、LCD-TFT产业,高纯度和超高纯度化学(气体或液体)分配系统,高纯度和超高纯度半导体制造应用
316LWV化学元素成分含量(%)
成分
| C | Si | Mn | P
| S | Ni
| Cr | Mo
| Cu
| Nb | Al
| Ti |
最小值
| - | -
| - | - | - | 14.5
| 16.5
| 2.2
| -
| - | - | -
|
| 最大值 | 0.01
| 0.50 | 0.50
| 0.03
| 0.03
| 15.0
| 17.0
| 2.5
| 0.25
| 0.01
| 0.01
| 0.01 |
Se最大值
| 0.01
| Ca最大值 | 0.01
| O最大值 | PPM20
| H最大值
| PPM0.5 | N最大值
| PPM40
|
|
|
|
316LVIM/VAR的具体特性包括:
高强度和高疲劳强度:适合用于需要承受高应力或频繁使用的部件。
出色的微清洁度:适用于对清洁度要求极高的应用,如外科植入物。
优异的结构均匀性:确保材料的稳定性和可靠性。
高表面光洁度:适用于需要高精度加工的部件。
无磁性:适用于特定环境下的应用。